多晶硅作为制作太阳能电池的主要原料，近年来得到巨大发展。不管是改良西门子法还是硅烷法生产工艺中都存在大量过滤分离器，用于硅粉收集、氯硅烷循环洗涤、循环水再利用等工序。
污染物及杂质：
未完全反应的硅粉颗粒
循环液带入的管道中的杂质
进料带入的固体粉尘与杂质
合成反应生成的固体杂质
SP解决方案：
高温尾气净化
尾气过滤应用在多晶硅生产的各个工艺段,对多晶硅的生产起到重要作用,尤其目前行业低位运行期间,对多晶硅产品降低成本至关重要。
a.废气废液工位的烟气过滤
b.还原炉尾气分离
c.氢化炉尾气分离
d.硅粉槽硅粉过滤等。
还原尾气分离
在SiCl4氢化气和SiHCl3还原气通过干法分离后，H2和HCl得以回收利用，在H2回用前需过滤气体中含有的未反应硅粉和生成的石墨粉，保证氢气纯净，使氢化反应和还原反应更稳定、高效。
产生问题 | 过滤要求 | 解决方案 |
氢气为高危气体 | 过滤器密封性能良好 | 采用自动反吹系统，无须打开滤器，减少内件更换频次，避免泄露可能 |
石墨粉/硅粉颗粒粒径微小，硬度高。 | 过滤精度要求高，防止内件穿透。 | 采用独特的烧结金属毡内件，过滤孔径稳定，保证过滤性能,过滤精度可达0.1um-0.5um |
尾气温度高 | 抗温要求高，避免降温处理带来的一系列问题。 | 采用高温直接处理工艺，避免降温处理带来管道腐蚀，能耗浪费严重的问题。 |
针对尾气采用干法分离技术，将废气废液在炉内燃烧，生成SiO2粉末，通过分离收集SiO2粉末产生极大的经济效益，同时解决环保达标排放问题。
SP产品优势：
u废气废液集中处理，工艺先进，操作简单。
u密闭性能好，有效回收的SiO2粉末。
u处理量大，过滤精度高。
